| 项目 | Lion 2600 | |
| 机器性能 | 设备精度 | ±5μm@3sigma ,<0.15°@3sigma |
| 芯片旋转 | <0.15°@3sigma | |
| 周期 | ≤8s(Excluding temperature curve) ≤2s | |
| 邦定头精度 | X(lum),Y(1um)Z(lum),Theta (0.01deg) | |
| 点胶精度 | X(±5um),Y(±5um) | |
| 材料处理能力 | 芯片尺寸 | 0.15x0.15-15x15mm |
| 基板尺寸 | Max 110mm*200mm | |
| 上料 | 2 | |
| 邦头系统 | 邦定力度 | 0.3-10N |
| 视觉识别系统 | PR系统 | 256 grey level |
| 分辨率 | 4096pixelx3072pixel*可根据需要选配 | |
| 角度公差 | ±0.01° | |
| 机器尺寸和重量 | 尺寸 | L1480*W1460*H2240(mm) |
| 重量 | 2100kg |
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